半導体装置及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264025
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077859
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】シリサイド構造を有する半導体装置に関し、電極上のシリサイド層と半導体基板上のシリサイド層との短絡を防止するとともに、シリサイド層の膜厚制御を容易にすること。【解決手段】半導体基板1上にゲート絶縁膜3を介して形成されたトランジスタのゲート電極5aと、ゲート電極5aの両側方の半導体基板1に形成されてトランジスタのソース/ドレインとなる不純物拡散層6a,6bと、ゲート電極5aの側面に形成され、且つゲート電極5aの側面の一部を露出する窪み9aを有する絶縁性のサイドウォールスペーサ9と、ゲート電極5aのうちサイドウォールスペーサ9に覆われない部分に形成された第1シリサイド層13aと、不純物拡散層6a,6b上に形成された第2シリサイド層13b,13cとを含む。

請求項（抜粋）：

半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたトランジスタのゲート電極と、前記ゲート電極の両側方の前記半導体基板に形成されて前記トランジスタのソース/ドレインとなる不純物拡散層と、前記ゲート電極の側面に形成された絶縁性のサイドウォールスペーサと、前記サイドウォールスペーサのうち前記ゲート電極の周囲に形成されて前記ゲート電極の側面の一部を露出する窪みと、前記ゲート電極のうち前記サイドウォールスペーサに覆われない部分に形成された第1シリサイド層と、前記不純物拡散層上に形成された第2シリサイド層とを有することを特徴とする半導体装置。

IPC (4件)：

H01L 21/28 301 , H01L 21/3205 , H01L 21/336 , H01L 29/78

FI (3件)：

H01L 21/28 301 D , H01L 21/88 Q , H01L 29/78 301 P

Fターム (102件)：

4M104AA01 , 4M104BB01 , 4M104BB18 , 4M104BB20 , 4M104BB25 , 4M104BB40 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD04 , 4M104DD16 , 4M104DD26 , 4M104DD37 , 4M104DD43 , 4M104DD55 , 4M104DD64 , 4M104DD75 , 4M104DD80 , 4M104DD84 , 4M104EE09 , 4M104EE12 , 4M104EE14 , 4M104EE17 , 4M104FF14 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104HH12 , 4M104HH16 , 4M104HH20 , 5F033HH04 , 5F033HH07 , 5F033HH25 , 5F033HH27 , 5F033JJ19 , 5F033KK25 , 5F033KK27 , 5F033LL04 , 5F033MM07 , 5F033PP15 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ19 , 5F033QQ31 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ58 , 5F033QQ65 , 5F033QQ70 , 5F033QQ73 , 5F033QQ82 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033SS11 , 5F033TT02 , 5F033TT08 , 5F033VV06 , 5F033XX01 , 5F033XX08 , 5F033XX31 , 5F140AA01 , 5F140AA14 , 5F140BA01 , 5F140BE07 , 5F140BF04 , 5F140BF11 , 5F140BF18 , 5F140BF46 , 5F140BG09 , 5F140BG12 , 5F140BG14 , 5F140BG28 , 5F140BG30 , 5F140BG34 , 5F140BG35 , 5F140BG37 , 5F140BG44 , 5F140BG45 , 5F140BG52 , 5F140BG53 , 5F140BG54 , 5F140BG58 , 5F140BH15 , 5F140BJ08 , 5F140BJ11 , 5F140BJ17 , 5F140BJ27 , 5F140BK02 , 5F140BK13 , 5F140BK21 , 5F140BK29 , 5F140BK34 , 5F140BK35 , 5F140BK38 , 5F140BK39 , 5F140CA06 , 5F140CB01 , 5F140CB04 , 5F140CC03 , 5F140CC12 , 5F140CE07 , 5F140CE08 , 5F140CF04

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