基板処理システムの基板搬送方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小泉雅裕 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129882
公開番号（公開出願番号）：特開平5-301710
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【構成】ロードステージLSにて処理対象となる基板1をホルダを介さない縦型基板搬送系2に保持する工程と、基板1を処理ステージSTに搬送する工程と、この処理ステージSTに搬入された基板1を位置決め固定する工程と、処理ステージSTでの処理が終了した時点で処理済みの基板1をアンロードステージUSへ搬送する工程と、アンロードステージUSにて処理済みの基板1を縦型基板搬送系2から離脱させる工程とを具備させる。【効果】基板搬送系側でのアライメント調整及び基板サイズの変更への対応を容易に行うことができ、しかも、基板の処理タクトを短縮することができる。

請求項（抜粋）：

処理対象となる基板(1)を所定の処理ステージ(ST)まで搬送すると共に、当該処理ステージ(ST)にて搬入された基板(1)に対し所定の処理を施し、しかる後、処理済みの基板(1)を処理ステージ(ST)から離脱させる基板処理システムにおいて、ロードステージ(LS)から処理ステージ(ST)を経由してアンロードステージ(US)まで延び且つ基板(1)の下端縁が載置されて移動する基板搬送手段(3)と、この基板搬送手段(3)の上方部位に設けられ、基板搬送手段(3)に載置された基板(1)が縦方向姿勢に保持されたまま移動する基板案内手段(4)とからなる縦型基板搬送系(2)を用い、ロードステージ(LS)にて処理対象となる基板(1)を縦型基板搬送系(2)に保持する基板ロード工程と、縦型基板搬送系(2)に保持された基板(1)を処理ステージ(ST)に搬送する基板処理前搬送工程と、この処理ステージ(ST)にて所定の処理が施される間、搬入された基板(1)を位置決め固定する基板位置決め停止工程と、処理ステージ(ST)での処理が終了した時点で処理済みの基板(1)をアンロードステージ(US)へ搬送する基板処理後搬送工程と、アンロードステージ(US)にて処理済みの基板(1)を縦型基板搬送系(2)から離脱させるアンロード工程とを具備させたことを特徴とする基板処理システムの基板搬送方法。

IPC (4件)：

C01B 35/00 , G01N 21/84 , G02F 1/13 101 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-166142
特開平2-014545
特開平3-166142

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