磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298813
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153035
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】本発明は磁束検知領域において均一かつ狭いシールド間距離を得て高記録密度においても高分解能を得ることができる磁気抵抗効果型磁気ヘッドを提供することを目的とする。【構成】下部絶縁層2に磁気抵抗素子膜1の厚さと同じ深さの段差を設け、そこに磁気抵抗素子膜1を埋め込んだ形に形成する。その上に導体層6を形成し、さらにその上に上部絶縁層7を形成し、磁束検知領域におけるシールド間距離が一定かつ狭く、その上に形成される記録ギャップ部も直線であるような磁気抵抗効果型磁気ヘッドの構成とする。

請求項（抜粋）：

下部シールド上に下部絶縁膜を形成し、下部絶縁膜上に磁気抵抗素子膜を形成し、磁気抵抗素子膜上に磁気抵抗素子保護絶縁膜と導体層を成膜し、その上に上部絶縁膜を形成し、上部絶縁膜の上に上部シールドを設け、上部シールドの上面に記録ギャップを形成し、その上に記録コアを形成した磁気抵抗効果型素子であって、磁気抵抗素子膜を下部絶縁膜に埋め込み、導体層を形成するための磁気抵抗素子膜の接点部分と下部絶縁膜の高さを平坦にしたことを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-123307
特開平4-123307
特開平4-123307

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