特許

J-GLOBAL ID：200903011339233532

位置検出装置及び位置合せ装置

発明者： 奈良部 毅 ,  奈良 圭 ,  柳原 政光
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332972
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167571
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】本発明は、位置検出装置及び位置合せ装置において、撮像光学系の結像特性の影響を受けた画像情報から、マスク及び感光基板上にそれぞれ配置された第1及び第2の基準マークの位置を高い精度で検出し得るようにする。【構成】記憶手段(15)に記憶した撮像光学系(11)の結像特性に関する情報(S4)を基準として、画像情報から得た第1及び第2の基準マーク(1及び2)の実測位置を補正手段(14)で補正して、第1及び第2の基準マーク(1及び2)の位置をそれぞれ測定する。

請求項（抜粋）：

マスク上に配置された第1の基準マークと、感光基板上に配置された第2の基準マークとを撮像光学系を通して撮像して得た画像情報を処理して、前記第1及び第2の基準マークの位置を検出する位置検出装置において、前記撮像光学系の結像特性に関する情報を記憶する記憶手段と、前記位置検出の際に、前記第1及び第2の基準マークの位置を前記結像特性に関する情報に基づいて補正する補正手段とを具えることを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00