特許

J-GLOBAL ID：200903011343486372

酸化物単結晶の製造方法および装置

発明者： 今枝 美能留 ,  今西 雄一郎 ,  今井 克宏 ,  本多 昭彦
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062586
公開番号（公開出願番号）：特開平8-259375
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】μ引下げ法によって酸化物単結晶を製造するのに際して、ルツボの大きさを大型化し、あるいは原料の量を増大させても、良好な酸化物単結晶を連続的に引き下げて形成できるようにすることである。【構成】溶融ルツボ7と、溶融ルツボ7よりも容量の小さい単結晶育成ルツボ16とを使用する。酸化物単結晶の原料を溶融ルツボ7内で溶融させ、この原料を、溶融ルツボ7の開口13aを通して、単結晶育成ルツボ16へと連続的に供給する。単結晶育成ルツボ16の引出し口の溶融物に対して種結晶25を接触させ、この引出し口から下方へと向かって溶融物を引下げながら酸化物単結晶を育成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

溶融ルツボと、この溶融ルツボよりも容量の小さい単結晶育成ルツボとを使用し:酸化物単結晶の原料を前記溶融ルツボ内で溶融させ、この原料を、前記溶融ルツボの開口を通して前記単結晶育成ルツボへと連続的に供給し、この単結晶育成ルツボの引出し口の溶融物に対して種結晶を接触させ、この引出し口から下方へと向かって前記溶融物を引下げながら前記酸化物単結晶を育成することを特徴とする、酸化物単結晶の製造方法。

IPC (5件)：

C30B 15/08 ,  C30B 15/02 ,  C30B 15/34 ,  C30B 29/30 ,  C30B 29/62

FI (5件)：

C30B 15/08 ,  C30B 15/02 ,  C30B 15/34 ,  C30B 29/30 A ,  C30B 29/62 E