特許
J-GLOBAL ID:200903011346008811
電気機械共振器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小栗 昌平
, 市川 利光
, 橋本 公秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-127435
公開番号(公開出願番号):特開2009-278369
出願日: 2008年05月14日
公開日(公表日): 2009年11月26日
要約:
【課題】電極と振動子の対向面積を増大し、消費電力の低い電気機械共振器を提供する。【解決手段】本発明は電気機械共振器の振動子の少なくとも2面、すなわち側面部、及び上面部の両面に固定電極を設置して振動を励起させることを特徴とする。主に固定電極の配置において、振動子の片側の側面、及び上面に電極を設置すると振動子の中心を回転軸として回転モーメントが働くことになる。本発明の固定電極配置によれば、製造方法を複雑にすることなく電極形成が可能となり、素子抵抗を改善するために必要な容量面積も増やすことができる。ねじり振動で共振させる電気機械共振器として最適な固定電極の配置を実現する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
固定電極と、
前記固定電極とギャップを介して形成された振動子とを具備した共振部を備え、
前記固定電極が前記振動子の少なくとも2面にわたって配置された電気機械共振器。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (22件):
3C081AA09
, 3C081BA03
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081CA03
, 3C081EA22
, 5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC01
, 5J108CC04
, 5J108CC07
, 5J108CC11
, 5J108DD09
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108FF02
, 5J108JJ01
, 5J108KK01
, 5J108KK02
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