特許

J-GLOBAL ID：200903011346428799

プラズマ処理装置

発明者： 吉木 宏之 ,  天立 茂樹 ,  西條 達也 ,  板谷 耕司
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
代理人 (1件)： 中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095100
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275696
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 被処理物に対して広い面積に亘って均一かつ高速に処理することができ、しかもマイクロ波電力の使用効率を高めたプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 側壁に細長い窓部7bを有し、窓部の内側に被処理物13が配置されるプラズマ室7 と、電界ベクトルの方向に平行な側面であるE面に管軸方向へ伸びるスロット18b を有し、管軸方向を窓部の長手方向に一致させ、かつスロットを窓部に対向させた状態で配置されたプラズマ室結合用方形導波管18と、方形導波管にマイクロ波を供給するマイクロ波電源1 とを備える。方形導波管の終端に、短絡板19c を有する終端器19を設ける。スロットの長手方向の長さを、方形導波管内のマイクロ波の管内波長λg の2分の1の長さと、マイクロ波の自由空間波長の2分の1の長さとの公倍数に設定する。スロットの端部と短絡板との長さを、管内波長λg の(n/2)(n:整数)に設定する。

請求項（抜粋）：

側壁に細長い窓部を有し、前記窓部の内側に被処理物が配置されるプラズマ室と、電界ベクトルの方向に平行な側面であるE面に管軸方向へ伸びるスロットを有し、管軸方向を前記窓部の長手方向に一致させ、かつ前記スロットを前記窓部に対向させた状態で配置されたプラズマ室結合用方形導波管と、前記方形導波管にマイクロ波を供給するマイクロ波電源とを備え、前記方形導波管から前記スロットを介して前記プラズマ室へマイクロ波を放射させるプラズマ処理装置において、前記方形導波管の終端に、短絡板を有する終端器を設け、前記スロットの長手方向の長さが、前記方形導波管内のマイクロ波の管内波長λg の2分の1の長さと、マイクロ波の自由空間波長の2分の1の長さとの公倍数に設定され、前記スロットの端部と短絡板との長さが、前記管内波長λg の(n/2)(n:整数)に設定されたプラズマ処理装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H05H 1/46 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B