特許
J-GLOBAL ID：200903011347312433
力検知手段を含む走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294894
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050750
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 走査されている対象表面に接近した力を検知する細いプローブを使用した走査型顕微鏡を提供する。【構成】 走査型イメージングシステムが開示される。細いチップを有するプローブ10はサンプル30の表面付近で配置され、表面に実質的に平行な平面にあるパターンに走査される。手段40、50は、実質的に走査平面内でプローブチップを振動させるために提供される。実質的に横方向にプローブチップに作用する剪断力は、プローブチップの振動に変化を引き起こす。このような変化は位置検知用光検出器80で検出される。
請求項（抜粋）：
少なくともサンプル表面の一部を走査するためのシステムであって、縦軸及びチップを有するプローブと、表面付近にプローブチップを位置決めするための手段と、走査パターンが、表面の一部に実質的に平行な状態にある走査面と呼ばれる面に描かれるように、表面に関してプローブチップを変位させるための手段と、表面に関してプローブチップを少なくとも1つの振動周波数で振動させるための手段とからなるシステムにおいて、振動手段は、実質的に走査面内でプローブチップを振動させるのに適応し、前記システムは、さらに、位置検知用光検出器と、プローブチップの振動変化が検出できるように位置検知用光検出器上にプローブチップを光学的にイメージさせる手段とを含むことを特徴とするシステム。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01L 1/00
, G02B 21/00
