波長安定化狭帯域エキシマレーザ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-040219
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219555
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】より簡単な構成および制御方法で、波長および出力光軸を安定化させた波長安定化狭帯域エキシマレーザ装置を提供する。【解決手段】共振器を構成する出力ミラー7、全反射ミラー4、および波長選択素子であるエタロン5とプリズム6は同一構造物2に固定され、この構造物2は支持台に除振装置3を有している。このため共振器は振動上独立しており、放電管1のガス循環ファンなどによる振動での光学素子の姿勢のずれは生じない。また、レーザ出力光の一部を分光器11およびビーム位置検出器12へ導き、分光器11で測定した結果を基にエタロン5の角度をエタロン角調整装置15で調整して波長を許容範囲内に納め、ビーム位置検出器12で測定した結果を基に全反射ミラー4の角度を全反射ミラー角調整装置14で調整してレーザ出力光の出射角を許容範囲内に納める。この結果装置雰囲気の気象状況の変化によるレーザ出力光の波長ずれおよび光軸ずれを制御できる。

請求項（抜粋）：

共振器を構成する出力ミラーと全反射ミラーとの間に、波長選択手段を備える波長安定化狭帯域エキシマレーザ装置であって、前記出力ミラー、前記全反射ミラーおよび前記波長選択手段が同一の構造部材に固定されると共に、前記構造部材は除振手段を介して支持台に固定され、前記共振器がレーザガスを封入した放電管から振動上独立とされたことを特徴とする波長安定化狭帯域エキシマレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/137 , H01S 3/106

FI (2件)：

H01S 3/137 , H01S 3/106

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭64-022078
特開平3-274780
特開平2-110985

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