特許

J-GLOBAL ID：200903011353403238

転動要素の製造方法

発明者： 砂原 賢治 ,  池田 満昭
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
代理人 (1件)： 小堀 益 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-078893
公開番号（公開出願番号）：特開2002-276667
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】 膜質のばらつきが小さい、簡易な設備で製造できる転動要素の製造方法の提供。【解決手段】 六方晶系の層状構造固体潤滑剤を不活性ガス雰囲気中でスパッタリングにより固体潤滑膜として表面に被覆し、前記固体潤滑膜が構成元素として原子濃度5〜30%の酸素を含む転動要素の製造方法において、(1)前記不活性ガスに水蒸気またはガス状酸化物を混入する、あるいは(2)固体潤滑膜を被覆後に転動要素を水蒸気雰囲気中で保管する。

請求項（抜粋）：

六方晶系の層状構造固体潤滑剤を不活性ガス雰囲気中でスパッタリングにより固体潤滑膜として表面に被覆し、前記固体潤滑膜が構成元素として原子濃度5〜30%の酸素を含む転動要素の製造方法において、前記不活性ガス中に水蒸気を5〜500ppm混入することを特徴とする転動要素の製造方法。

IPC (9件)：

F16C 33/32 ,  C10M103/06 ,  F16C 33/34 ,  F16C 33/64 ,  F16C 33/66 ,  C10N 10:12 ,  C10N 40:02 ,  C10N 50:08 ,  C10N 70:00

FI (9件)：

F16C 33/32 ,  C10M103/06 C ,  F16C 33/34 ,  F16C 33/64 ,  F16C 33/66 A ,  C10N 10:12 ,  C10N 40:02 ,  C10N 50:08 ,  C10N 70:00

Fターム (12件)：

3J101AA01 ,  3J101BA01 ,  3J101BA51 ,  3J101EA55 ,  3J101EA78 ,  3J101FA32 ,  3J101FA44 ,  4H104AA19A ,  4H104FA06 ,  4H104JA01 ,  4H104PA01 ,  4H104QA11