特許
J-GLOBAL ID：200903011359081186
波長安定化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-061646
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273393
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】環境温度変化に左右されることなく、LDの発振波長を所定モードにロックして安定化させることが可能な波長安定化装置を提供する。【構成】半導体レーザー光源ユニット40と、この半導体レーザー光源ユニットから出射されるレーザー光の波長を所定の発振モードにロックさせる波長安定化ユニット42とを備える。半導体レーザー光源ユニットには、半導体レーザ4を加熱又は冷却するペルチェ素子10と、半導体レーザ近傍の温度を検知するLD温度センサ6と、このLD温度センサの出力値に対応して設定温度を算出する設定温度演算部30と、LD温度センサによって検出される温度が設定温度に安定化するように、ペルチェ素子を駆動制御して半導体レーザを加熱又は冷却させる温度制御部8とを備える。
請求項（抜粋）：
レーザー光出射光学系の温度変化を検知する温度センサと、前記レーザー光出射光学系を加熱又は冷却する加熱冷却手段と、前記温度センサによって検知された前記レーザー光出射光学系に対する温度制御を行う前の温度と予め規定された基準設定温度との差に基づいて、前記基準設定温度に所定の補正を加えた設定温度を算出する演算部と、前記温度センサによって検出される温度が前記設定温度に安定化するように、前記加熱冷却手段を駆動制御して前記レーザー光出射光学系を加熱又は冷却させる温度制御部とを備えていることを特徴とする波長安定化装置。
IPC (3件)：
H01S 3/133
, G01J 9/02
, H01S 3/096
