特許

J-GLOBAL ID：200903011360443199

金属基板表面の検査方法及び検査装置

発明者： 岡谷 真治 ,  三橋 光幸
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-118617
公開番号（公開出願番号）：特開2008-275415
出願日： 2007年04月27日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

【課題】めっきの製造条件の微少な変動によらず、配線パターン及びめっきの検査を同時に行なうことが可能な配線パターン及びめっき検査方法および検査装置を提供すること。【解決手段】表面にめっき部と非めっき部からなる金属パターンを有する基板を搬送する搬送段階と、前記搬送段階の搬送と同期をとりながら、かつ基板の法線方向から0°〜10°傾いた方向から基板の表面を撮像する撮像段階と、基板の非めっき部の金属材料とめっき部のめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を間接光で照射する第1の照明段階と、基板の非めっき部の金属材料とめっき部のめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を直接光で照射する第2の照明段階と、撮像段階にて得られた基板の表面の画像データを用いて、欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階とを有することを特徴とする金属パターンを有する基板の検査方法および検査装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

表面にめっきがされためっき部とめっきがされていない非めっき部からなる金属パターンを有する基板を所定速度で搬送する搬送段階と、 前記基板の法線方向から0°〜10°傾いた方向から、前記搬送段階での搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、前記基板の表面を撮像する撮像段階と、 前記基板の前記非めっき部の金属材料と前記めっき部のめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を第1の照明手段により間接光で照射する第1の照明段階と、 前記基板の前記非めっき部の金属材料と前記めっき部のめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を第2の照明手段により直接光で照射する第2の照明段階と、 前記撮像段階にて得られた前記基板の表面の画像データを用いて、前記非めっき部と前記めっき部に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階と、 を有することを特徴とする金属パターンを有する基板の検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G01N21/956 B ,  H05K3/00 Q

Fターム (11件)：

2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051EA16

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 金属表面の検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-347129   出願人：大日本印刷株式会社