特許

J-GLOBAL ID：200903011363931003

情報記録媒体の製造方法

発明者： 小林 忠
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-065676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266519
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】アルミニウム(Al)と、ジルコニウム(Zr)及び/またはモリブデン(Mo)からなる良好な反射膜を容易に得られる製造方法を提供する。【構成】情報記録媒体の製造工程において、スパッタ室内をArと20atom%以下のN2 との混合ガス雰囲気とする条件下で、アルミニウムと、ジルコニウム及びモリブデンからなる群から選択された少なくとも1種とをターゲットとし、基板上にスパッタリングを行なうことにより、その反射膜を形成する。

請求項（抜粋）：

スパッタ室内をArと20atom%以下のN2 との混合ガス雰囲気とする条件下で、アルミニウム(Al)と、ジルコニウム(Zr)及びモリブデン(Mo)からなる群から選択された少なくとも1種とをターゲットとし、スパッタリングを行なうことにより基板上に反射層を形成する工程を具備することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/34