特許

J-GLOBAL ID：200903011370331933

ウエハの位置合わせ装置

発明者： 大沢 哲 ,  浅川 輝雄 ,  根深 憲司 ,  小野 博夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-087526
公開番号（公開出願番号）：特開平5-308098
出願日： 1991年03月26日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】ウエハの位置合わせに必要な機構を簡素化すること。【構成】ウエハWを保持して回動させるターンテーブル1に光センサを組み合わせ、この出力に基づいてオリフラ方向、ウエハ中心を位置検出部5にて検出するようにする。この検出結果に基づき、演算部6では、ターンテーブル1の回動量θaと、搬送アーム21の伸び出し方向θbと長さR2とを演算する。搬送アーム2は伸縮、回動、上下動の自由度を持っており、ターンテーブル1がθaだけ回動してオリフラ方向を補正した後に、θb、R2の制御量に応じて制御され、ウエハWを保持していく。この結果、ウエハWの中心についても正しい位置に設定される。

請求項（抜粋）：

位置及び向きが検出されたウエハについてその位置合わせを行う装置において、ウエハを保持してその面に沿って回動させる回動部と、この回動部に保持されたウエハの面に沿って回動しかつ伸縮すると共に、当該ウエハを保持して搬送する搬送アームと、位置合わせ前のウエハの向き、位置合わせにより予定しているウエハの向き、及び前記回動部の回動中心に対するウエハの相対位置に基づいて、ウエハの向きを補正するための前記回動部の回動量と、ウエハの位置を補正するためのウエハの保持位置または解除位置を演算する演算部とを設け、前記演算部の演算結果に基づいて前記回動部及び搬送アームを制御することを特徴とするウエハの位置合わせ装置。