特許

J-GLOBAL ID：200903011372170031

形状測定方法及び干渉測定装置、並びに投影光学系の製造方法及び投影露光装置

発明者： 中山 繁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-067224
公開番号（公開出願番号）：特開2003-269909
出願日： 2002年03月12日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 フィゾー面を非最終面に配置してなるヌル光学系を使用した干渉測定で得られる測定結果から、ヌル光学系に起因する誤差の影響を受けずに、被検面の単体の形状情報を取得する。【解決手段】 測定光束の入射時に生じる透過m次回折光の波面が前記被検面の設計形状と等価になるよう設計された透過型ゾーンプレートを用いて前記被検面を干渉測定することで、前記透過m次回折光の波面を基準とした前記被検面の形状情報を取得し、前記透過型ゾーンプレートを用いて前記ヌル光学系の前記フィゾー面を前記最終面側から干渉測定することで、前記透過型ゾーンプレートにおいて生じる透過-m次回折光の波面を基準とした前記波面変換部の誤差情報を取得し、前記取得した各情報に基づく演算処理を行う。

請求項（抜粋）：

フィゾー面を非最終面に配置してなるヌル光学系を用いて被検面を干渉測定することで、そのヌル光学系のフィゾー面から最終面に至る波面変換部を基準とした前記被検面の形状情報を取得し、測定光束の入射時に生じる透過m次回折光の波面が前記被検面の設計形状と等価になるよう設計された透過型ゾーンプレートを用いて前記被検面を干渉測定することで、前記透過m次回折光の波面を基準とした前記被検面の形状情報を取得し、前記透過型ゾーンプレートを用いて前記ヌル光学系の前記フィゾー面を前記最終面側から干渉測定することで、前記透過型ゾーンプレートにおいて生じる透過-m次回折光の波面を基準とした前記波面変換部の誤差情報を取得し、前記取得した各情報に基づく演算処理を行うことによって、前記被検面の単体の形状情報を求めることを特徴とする形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D

Fターム (42件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064BB05 ,  2F064DD01 ,  2F064DD08 ,  2F064DD10 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064GG00 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG47 ,  2F064GG49 ,  2F064GG59 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065BB22 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL43 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ23