静電チャック装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146486
公開番号（公開出願番号）：特開平7-018438
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】プラズマ処理される基板内に生じる温度差の問題点に鑑み、基板に温度差が生じないようにできる静電チャック装置を提供することを目的としている。【構成】平板状の電極の基板支持面を絶縁物で覆い、この絶縁物の表面に凹凸面を形成する。そして形成した凹凸面における、凹面の密度、凸面の密度或いは凹部の深さを、絶縁物表面内で変化させ、基板に働く静電吸着力に分布を与える。この静電吸着力の分布の傾向と、プラズマ処理による基板内の温度分布の傾向を相反する関係として、基板内の温度分布の均一化を図る。

請求項（抜粋）：

平板状の電極の基板支持面が絶縁物で覆われており、絶縁物の表面に誘導した静電気によって、基板支持面上の基板が静電吸着される構成とした静電チャック装置において、前記電極の基板支持面を覆った絶縁物の表面が凹凸面としてあり、凸面の密度が絶縁物表面内で変化させてあることを特徴とする静電チャック装置

IPC (5件)：

C23C 14/50 , B23Q 3/15 , H01L 21/203 , H01L 21/3065 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-313954
特開平4-211146
特開平1-313954

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