特許

J-GLOBAL ID：200903011381882192

ビニル基を含有する単量体及びその重合体及びそれを用いた感光性樹脂組成物

発明者： 中野 嘉一郎 ,  岩佐 繁之 ,  長谷川 悦雄
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280695
公開番号（公開出願番号）：特開平7-252324
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 220nm以下の短波長光に対して透明性が高い、感光性樹脂組成物用の重合体およびその単量体を提供する。【構成】 一般式(1)(式中R1 は水素原子、ターシャルブトキシカルボニル基、テトラヒドロピラニル基など、R2 は有橋環式炭化水素基を有する炭素数7ないし12の炭化水素残基、R3 は水素原子あるいはメチル基を表す)で表される化合物。および一般式(1)の化合物とメタクリル酸、メタクリル酸エステルなどを共重合することによって得られる重合体。および前記の重合体を成分とすることによって得られる感光性樹脂組成物。【化25】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるビニル基含有単量体。【化1】(上式において、R1 は水素原子、ターシャル-ブトキシカルボニル基、テトラヒドロピラン-2-イル基、テトラヒドロフラン-2-イル基、4-メトキシテトラヒドロピラニル基、1-エトキシエチル基、1-ブトキシエチル基、あるいは1-プロポキシエチル基、R2 は有橋環式炭化水素基を有する炭素数7ないし12の炭化水素残基、R3 は水素原子あるいはメチル基を表す)

IPC (6件)：

C08F220/28 MML ,  C07C 69/54 ,  C08F220/26 MMK ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-033350
  
• アクリル酸エステル誘導体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-269513   出願人：日本ゼオン株式会社