特許
J-GLOBAL ID：200903011382703437
露光用マスクおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-019205
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225469
出願日： 1994年02月16日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】 1オングストローム単位の精度で周期を制御した高性能な回折格子を安価に得ることができる露光用(マスター)マスクおよびその製造方法を得ることを目的とする。【構成】 Au蒸着膜21,及びNi蒸着膜22を交互に積層して形成された所定周期の積層膜10をその層方向と垂直な方向の平面で、所定の厚みで切り出した積層板の、その切断面の一方のNi蒸着膜22を、所定の深さまで選択エッチングして積層膜10の周期に合わせた所定周期の凹凸構造を有した露光用マスターマスク5を形成する。
請求項（抜粋）：
複数種類の膜を、所定の厚さ,順序で繰り返し積層して縦方向積層膜を形成する工程と、該縦方向積層膜を、その層方向に垂直な方向に対して所定の角度の平面で切断して所定厚さの横方向積層板を形成し、該横方向積層板の切断面を主表面とする露光用マスクを形成する工程とを含むことを特徴とする露光用マスクの製造方法。
IPC (2件)：
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