特許
J-GLOBAL ID：200903011386031700
角速度検出素子および角速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大澤 敬 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-182857
公開番号（公開出願番号）：特開平10-078327
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 角速度検出素子を、検出する角速度の回転軸の方向に対して薄型化できるようにすること、及び高精度で角速度を検出できるようにすること。【解決手段】 圧電性を有する材料からなり、二つのアーム(1,2)を基部(13)に一体に設けた音叉型の振動体(15)を有し、その各アーム(1,2)の表面に電極を設けた角速度検出素子であって、その二つの各アームの自由端部に、該アームの振動方向に沿ってそれぞれ外方へ張り出すように伸びる伸張部(11,12)を設ける。そして、二つの各アーム(1,2)の振動方向に沿う各面と該面に垂直な各面のそれぞれに一つずつ電極を設け、一定周期の駆動電圧を印加して各アーム(1,2)を振動させる。
請求項（抜粋）：
圧電性を有する材料からなり、平行に延びる二つのアームとその各アームを一体に設けた基部とからなる音叉型の振動体と、前記各アームの表面に設けた電極とからなる角速度検出素子であって、前記振動体の二つの各アームの自由端部に、該アームの振動方向に沿ってそれぞれ外方へ張り出すように伸びる伸張部を設けたことを特徴とする角速度検出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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