特許
J-GLOBAL ID：200903011387114316
磁気記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161026
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】酸化物を含有する表面を持つ基板では、基板上に形成される膜の成膜時に基板からの酸素の拡散が起こり、保磁力低下を引き起こさないように、酸素の拡散を防止すること。【構成】酸化物を含有する表面を持つ基板からの酸素の拡散を防止する為に、基板と下地膜又は記録膜との間に酸素の拡散を防ぐ膜を成膜する。膜としては、酸化物を作り易い窒化シリコン又は窒化アルミニウム又は窒化チタニウム等の窒化物からなる膜がよい。【効果】基板と下地膜又は記録膜との間に窒化膜を形成することで、基板からの酸素がシリコン又はアルミニウム又はチタンと酸化物を作り、その上にある膜への拡散を防止する。
請求項（抜粋）：
酸化物を含有する表面を持つ基板上に窒化シリコン又は窒化チタニウム又は窒化アルミニウムからなる膜を形成し、その上にコバルト合金からなる磁性膜を形成したことを特徴とする磁気記録媒体。
IPC (2件)：
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