特許
J-GLOBAL ID：200903011389814820
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343879
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176768
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 加速度センサの固定部および可動部における有効面積を大きくし、小型高精度の加速度センサを構成する。【構成】 各固定部24,可動部26およびガード32を有する第1のセンサ部22と、上側に位置し、同一の形状をもった第2のセンサ部22′とによって加速度センサを形成する。各固定部24,24′と支持部27,27′を導電性の接着剤で接合し、ガード32,32′を接着剤で接合する。これにより、質量部29,29′は梁28,28′に対して変位し、加速度センサに検出部分となる電極の有効面積の2倍の有効面積を確保することができる。
請求項（抜粋）：
第1,第2の絶縁基板と、該第1の絶縁基板に固着して設けられたシリコン板をエッチング処理することにより互いに分離して形成された第1の固定部および第1の可動部と、前記第2の絶縁基板に固着して設けられたシリコン板をエッチング処理することにより互いに分離して形成された第2の固定部および第2の可動部とを備え、前記第1,第2の固定部には固定電極を一体に形成し、前記第1,第2の可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該加速度に応じて変位する質量部と、該質量部に前記固定部に形成された固定電極との間で微小隙間を介して対向するように設けられ、該質量部の変位によって近接,離間する可動電極とからそれぞれ一体に形成し、前記第1の絶縁基板に形成された第1の固定部を第2の絶縁基板に形成された第2の固定部と接合すると共に、前記第1の絶縁基板に形成された第1の可動部の支持部と第2の絶縁基板に形成された第2の可動部の支持部とを接合する構成としてなる加速度センサ。
IPC (4件)：
H01L 29/84
, C23F 4/00
, G01P 15/125
, H01L 21/306
