特許

J-GLOBAL ID：200903011404416712

透明導電膜

発明者： 杉原 忠 ,  町野 毅
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349730
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177407
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 特に耐湿性に優れ、特性の経時的変化が少ない透明導電膜を提供すること。【構成】 本発明の透明導電膜は、酸化亜鉛系の透明導電膜2であり、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつフッ素が0.05〜2.0原子%含まれる。また、本発明の別の観点による透明導電膜2aは、下層側透明導電膜8の表面側に、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつフッ素が0.05〜2.0原子%含まれる酸化亜鉛系の上層側透明導電膜6が積層してある。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛系の透明導電膜であり、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつフッ素が0.05〜2.0原子%含まれる透明導電膜。

IPC (4件)：

H01L 31/04 ,  C03C 4/14 ,  C04B 41/87 ,  H01B 5/14