特許
J-GLOBAL ID：200903011405891929
シリカ多孔質母材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
本多 小平 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124435
公開番号（公開出願番号）：特開平5-319849
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】 VAD法による石英ガラスの製造におけるその生産性と経済性の向上を目的として、シリカ多孔質母材の外径変動や変形及びシリカ多孔質母材側面部に生じるヒビ割れや剥離を発生させずに大型のシリカ多孔質母材を高収率かつ高合成速度で製造する方法を提供する。【構成】 VAD法によるシリカ多孔質母材の製造方法において、同芯円状多重管バーナーの口径の1.8〜3.0倍の直径を有するシリカ多孔質母材成長面疑似球の法線と該同芯円状多重管バーナーの中心軸が一致するように該同芯円状多重管バーナーを固定設置するシリカ多孔質母材の製造方法。
請求項（抜粋）：
気体のガラス原料,可燃性ガス,不活性ガス及び支燃性ガスを同芯円状多重管バーナーに供給して、火炎加水分解させてシリカ微粒子を生成し、これを出発部材上に堆積させ、該出発部材をシリカ微粒子の堆積速度にあわせて上方に引上げるシリカ多孔質母材の製造方法において、該同芯円状多重管バーナーの口径の1.8〜3.0倍の直径を有するシリカ多孔質母材成長面疑似球の法線と該同芯円状多重管バーナーの中心軸が一致するように該同芯円状多重管バーナーを固定設置することを特徴とするシリカ多孔質母材の製造方法。
IPC (3件)：
C03B 37/018
, C03B 20/00
, G02B 6/00 356
