特許
J-GLOBAL ID：200903011407913032
異物検査方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272316
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115593
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】本発明は、ウエハ表面の粗さや異物の大きさに関わらず、異物による信号を抽出して高精度な異物検出を行う。【解決手段】ウエハ1にレーザビームLを照射し、このときにウエハ1の表面に生じた散乱光のうちウエハ1の表面を構成する物質固有の波長を持つラマン散乱光成分を分光フィルタ30により除去し、このラマン散乱光成分の除去された散乱光を受光素子31により受光し、その電気信号に基づいて演算制御回路33において異物の存在位置及びその大きさを検出する。
請求項（抜粋）：
被検査体表面に検査光を照射し、前記被検査体表面に生じる散乱光に基づいて前記被検査体表面に存在する異物を検出する異物検査方法において、前記被検査体表面に生じる散乱光を波長別に分光し、この分光された光の波長のうち前記異物に固有の波長に基づいて前記異物を検出することを特徴とする異物検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/65
G01N 21/88 E
, G01B 11/30 D
, G01N 21/65
