特許
J-GLOBAL ID：200903011409325529
位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-066591
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260011
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、位置決め用マークと位置決め対象の反射率差が非常に小さな場合であっても、安定して位置決めできる位置決め装置を提供する。【解決手段】 位置決め対象物11を固定するスデージ手段12と、位置決め対象物上に設けられ、かつ、表面に凹凸を有する位置決め用マーク1と、位置決め用マークを検鏡する検鏡手段13と、検鏡手段により検鏡された像を取り込む撮像手段14と、撮像手段により取り込まれた画像と、基準となる画像との比較から前記位置決め対象物の位置ずれ量を算出するずれ量算出手段15と、算出されたずれ量に基づき、そのずれを解消するようにステージ手段の位置を調整するステージ駆動手段16とを備えた位置決め装置。
請求項（抜粋）：
位置決め対象物を固定するスデージ手段と、前記位置決め対象物上に設けられ、かつ、表面に凹凸を有する位置決め用マークと、前記位置決め用マークを検鏡する検鏡手段と、前記検鏡手段により検鏡された像を取り込む撮像手段と、前記撮像手段により取り込まれた画像と、基準となる画像との比較から前記位置決め対象物の位置ずれ量を算出するずれ量算出手段と、前記算出されたずれ量に基づき、そのずれを解消するように前記ステージ手段の位置を調整するステージ駆動手段とを備えたことを特徴とする位置決め装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G12B 9/08
G01B 11/00 H
, G01B 11/30 Z
, G01N 21/88 E
, G12B 9/08 A
