特許
J-GLOBAL ID：200903011410715853
蒸着膜厚の制御装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090460
公開番号（公開出願番号）：特開平5-287528
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 生産性を良くしつつ、被蒸着材への蒸着品質の向上を図る。【構成】 真空チャンバ11中を搬送中に被蒸着材12には、蒸発した材料6が蒸着する。蒸着膜厚検出器10による検出値及び速度検出器14による検出値は制御装置23に送られる。制御装置23は蒸着膜厚に応じて電動機13を制御して被蒸着材12のライン速度を変えるとともに、ライン速度に応じて加熱装置8への供給電力を制御する。
請求項（抜粋）：
蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を備えた真空槽中に、シート状被蒸着材を外部から搬入しその表面に蒸着材料を蒸着しその後に外部に搬出する連続真空蒸着装置において、前記被蒸着材の蒸着膜厚を検出する膜厚検出手段と、前記膜厚検出手段による検出値に基づいて前記被蒸着材のライン速度の変更量を演算し、前記被蒸着材のライン速度を制御するライン速度制御手段と、前記被蒸着材のライン速度を検出するライン速度検出手段と、前記ライン速度検出手段による検出値と予め設定した設定ライン速度との偏差から、前記加熱手段の加熱電力変更量を演算し、前記加熱手段による加熱量を制御する加熱量制御手段と、を備えたことを特徴とする蒸着膜厚の制御装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
