特許

J-GLOBAL ID：200903011412102727

基板搬送装置、露光装置、基板計測装置及び基板搬送方法

発明者： 加藤 正紀 ,  石橋 さやか
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-190185
公開番号（公開出願番号）：特開2005-026446
出願日： 2003年07月02日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】基板ステージの回転許容範囲内の回転位置で矩形基板を基板ステージに搬送する基板搬送装置を提供する。【解決手段】露光を行うための矩形基板を搬送する搬送手段Hと、前記矩形基板をステージ上に載置する前に前記搬送手段上において前記矩形基板の外形位置を計測する第1の基板計測手段35と、前記矩形基板を前記ステージ上に載置するための基板載置手段と、前記矩形基板を前記ステージ上に載置した状態で該ステージに対する前記矩形基板の外形位置を計測するための第2の基板計測手段56a,56b,56cとを備える基板搬送装置において、前記第1の基板計測手段は、前記第2の基板計測手段で計測する前記矩形基板の辺のうち少なくとも一辺の位置を計測する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

露光を行うための矩形基板を搬送する搬送手段と、 前記矩形基板をステージ上に載置する前に前記搬送手段上において前記矩形基板の外形位置を計測する第1の基板計測手段と、 前記矩形基板を前記ステージ上に載置するための基板載置手段と、 前記矩形基板を前記ステージ上に載置した状態で該ステージに対する前記矩形基板の外形位置を計測するための第2の基板計測手段と を備える基板搬送装置において、 前記第1の基板計測手段は、前記第2の基板計測手段で計測する前記矩形基板の辺のうち少なくとも一辺の位置を計測することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/68 F ,  H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  G03F7/20 501

Fターム (27件)：

2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA13 ,  5F031GA08 ,  5F031GA48 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA07 ,  5F031JA22 ,  5F031JA28 ,  5F031JA36 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5F031LA12 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27