シリコン酸化膜エレクトレット

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092823
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283373
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】寿命が長いシリコン酸化膜エレクトレットを提供する。【解決手段】シリコン原子(Si)の多くが4つの酸素原子(O)と結合して構成されるシリコン酸化膜中に、3つの酸素原子と結合し且つダングリングボンドを有するシリコン原子が存在しており、このダングリングボンドに電荷を保持させている。

請求項（抜粋）：

シリコン酸化膜中に、3つの酸素原子と結合し且つダングリングボンドを有するシリコン原子が存在して成ることを特徴とするシリコン酸化膜エレクトレット。

前のページに戻る