特許

J-GLOBAL ID：200903011416414472

光素子の製造方法および製造装置ならびに光素子

発明者： 市村 厚一 ,  平岡 俊郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-280043
公開番号（公開出願番号）：特開2001-100001
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 光の波長オーダーの周期を持つ3次元のフォトニック結晶を、簡便かつ短時間の処理により任意の結晶構造で作製することが可能な方法を提供する。【解決手段】 屈折率の異なる部位が周期的に配列されたフォトニック結晶を含む光素子を製造する方法であって、光照射によりまたは光照射後に所定の処理を施すことにより照射された光強度に応じて屈折率が変化する光学媒質(1)に対して、空間内で光の波長オーダーの周期で光強度が変化する場に光学媒質(1)を挿入し、一定時間保持する工程と、光学媒質(1)を移動させて空間内で光の波長オーダーの周期で光強度が変化する場を再度作用させる操作を1回以上繰り返す工程とを有する。

請求項（抜粋）：

屈折率の異なる部位が周期的に配列されたフォトニック結晶を含む光素子を製造する方法であって、光照射によりまたは光照射後に所定の処理を施すことにより、照射された光強度に応じて屈折率が変化する光学媒質に対して、空間内で光の波長オーダーの周期で光強度が変化する場に光学媒質を挿入し、一定時間保持する工程と、前記光学媒質を移動させて空間内で光の波長オーダーの周期で光強度が変化する場を再度作用させる操作を1回以上繰り返す工程とを具備したことを特徴とする光素子の製造方法。

IPC (5件)：

G02B 1/02 ,  G02B 1/00 ,  G02B 1/04 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/12

FI (5件)：

G02B 1/02 ,  G02B 1/00 ,  G02B 1/04 ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 Z

Fターム (6件)：

2H047PA11 ,  2H047PA12 ,  2H047PA21 ,  2H047PA22 ,  2H047QA01 ,  2H047TA43