特許
J-GLOBAL ID：200903011419572583
立体形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-235239
公開番号（公開出願番号）：特開平5-071931
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 対象物の反射率や屈折状態、対象物に含まれる光学系の透明度などのバラツキがあっても、面倒かつ難しい調節操作を必要とせず、正確な対象物の3次元情報を取得可能な立体形状測定装置を提供する。【構成】 対象物からの反射光強度を検出する2つの検出器27、28の出力は増幅器31、32を介して加算回路33、減算回路34に入力される。加算回路33、減算回路34で算出された和、差は、割算回路35に入力され、対象物における光学的反射特性の影響が除去される。また、加算回路33、34で算出された和、差は、判定回路40に入力され、対象物に対する光ビームの焦点位置の状態を判定し、モータ13を介して光学系の合焦状態を制御する。さらに、加算回路33、減算回路34で算出された和、差は、制御回路43に入力され、増幅器31、32の増幅度が調節される。
請求項（抜粋）：
対象物に光を照射し、その反射光を受光して光電変換した後信号処理を行うことにより対象物の3次元情報を得る立体形状測定装置において、光ビームを照射するレーザー光源と、前記光ビームを2次元的に走査するための光走査手段と、前記光ビームを、前記光走査手段の走査方向と交差する光学系の光軸方向に焦点移動する光束制御手段と、前記光束制御手段を通過した光ビームを対象物に照射するための光学系と、対象物からの反射光の焦点位置の変位に基づき、光学系光軸方向に関する対象物における形状特性の情報を取得する検出手段と、前記検出手段の出力信号から、対象物における光学的反射特性の影響を除去する第1の信号処理手段と、前記検出手段の出力信号から、前記光束制御手段による対象物に対する光ビームの焦点位置の状態を判定し、光束制御手段を駆動して合焦状態を生成する第2の信号処理手段とを有することを特徴とする立体形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24
, G01B 21/20 101
