特許

J-GLOBAL ID：200903011427472571

検査装置

発明者： 小野 哲司 ,  藤原 弘道
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  テル・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-201401
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033589
出願日： 1995年07月14日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】 LCD基板の重量に左右されることなく、しかもパーティクル等の塵埃を発生させることなく基板搬送機構においてLCD基板を確実にプリアライメントすることができる検査装置を提供する。【構成】 本検査装置1は、LCD基板Sを搬送する基板搬送機構6は、LCD基板Sを搬送するローダアーム7Aと、このローダアーム7Aを昇降するボールネジ11と、このボールネジ11によるローダアーム7Aの下降動作と同期して上昇し且つローダアーム7Aから引き渡されたLCD基板Sを位置決めするプリアライメント機構22とを備え、更に、このプリアライメント機構22はLCD基板Sの各隅角部を2辺から挟むように互いに直角に配置された回転自在な4対の位置決めローラ22A、22B及び支持ローラ22Cと、各ローラを一体的に昇降するエアシリンダ22Eとを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

カセット内の液晶表示体基板を基板搬送機構を介して受け取った後、その液晶表示体基板を検査用載置台上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から照明すると共にこの液晶表示体基板に形成された電極とプローブが圧接して点灯検査を行う検査装置において、上記基板搬送機構は、上記液晶表示体基板を搬送する搬送アームと、この搬送アームを昇降する第1昇降機構と、この第1昇降機構による上記搬送アームの下降動作と同期して上昇し且つ上記搬送アームから引き渡された上記液晶表示体基板を予備の位置決めを行なう位置決め機構とを備え、更に、上記位置決め機構は上記液晶表示体基板の各隅角部を2辺から挟み互いに直交するように配置された回転自在な4対の位置決めローラ及び支持ローラと、各ローラを一体的に昇降する第2昇降機構とを有することを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 G