特許
J-GLOBAL ID：200903011428553141
測定器の検査方法、及び検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 千明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347366
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166430
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【目的】 測定器の異常の発見を容易に行うことができる測定器の検査方法、及び検査装置を提供する。【構成】 マスター測定処理のステップS14で測定ヘッドをゼロマスターにセットし、測定ヘッドの電気マイクロメータに送られたリトラクトエアの圧力を減圧した後(S15)、電気マイクロメータから出力される突出量が”0”となるように調整する(S16)。測定ヘッドを感度マスターにセットし(S17)、測定子の突出量から感度位置を演算した後(S18)、RAMに感度位置が記憶されているか否かを判断する(S19)。次に、RAMに記憶された1時間前の感度位置と、現時点の感度位置とを比較する(S21)。電気マイクロメータのリーフスプリングの付勢力が低下している場合には、(RAMに記憶された感度位置)>(現在の感度位置)となる。
請求項（抜粋）：
被測定物の寸法を測定する際に、付勢部材により付勢された測定子を前記被測定物の壁面に当接し、前記測定子の突出量から前記寸法を測定する測定器の検査方法であって、第1のマスターを用いて測定を行う第1の測定工程と、前記第1のマスターを測定した状態の前記測定子の突出量が増加するような第2のマスターを用いて測定を行う第2の測定工程とが連続的に行われる計測工程を、所定の時間をおいて繰り返し行い、前記第1の測定工程から前記第2の測定工程へ移行した際の前記突出量の増加量が、各計測工程にて変化した際に、この変化量に基づき前記付勢部材の状態を判断することを特徴とした測定器の検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 21/00 Z
, G01B 5/00 P
