特許
J-GLOBAL ID：200903011430547248
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-097851
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296941
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 CCDカメラを用いて目視によらず、表面のきずあるいは色斑を識別する装置をつくる。【構成】 CCDカメラの前に倍率5倍以上の微分干渉レンズあるいはさらに加えて倍率5倍以上の明視野レンズを通した光をダイクロイックミラーにより波長を分けて各波長をCCDカメラでとらえ表面のきずあるいは色斑を識別する。光源は水銀-キセノンランプを用いるとさらに詳しく識別することができる。
請求項（抜粋）：
被検査物を検査用光ビームで光照射する機構及びこの検査用光ビームに基づく被検査物からの反射光をCCDカメラを介して光量の変化に基づき検査対象物の欠陥を検出する機構を有する表面欠陥検査装置において、被検査物からの反射光を捕えるCCDカメラの前に倍率5〜400倍の微分干渉レンズを取り付けることを特徴とする塗工物の表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88
, G06F 15/62 400
