特許
J-GLOBAL ID：200903011431187997
ウエハ移載装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345259
公開番号（公開出願番号）：特開平6-169000
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 ウエハキャリア搬送途中でのウエハの姿勢変換を不要として、ウエハキャリア搬送系における機構の簡略化、並びにウエハ処理工程における歩留り向上を可能としたウエハ移載装置を提供する。【構成】 ウエハキャリア供給装置とウエハ処理装置との間に設置されてウエハを一枚ずつ移載するウエハ移載装置であって、複数枚のウエハ4を垂直状態に収納するウエハキャリア5を載置するための移載ステージ3と、この移載ステージ3上のウエハキャリア5から繰り出されたウエハ4を水平状態に姿勢変換してウエハ処理装置51に移載するとともに、そのウエハ処理装置51から排出されたウエハ4を垂直状態に姿勢変換して移載ステージ3上のウエハキャリア5に移載するウエハ移載ロボット6とを具備している。
請求項（抜粋）：
ウエハキャリア供給装置とウエハ処理装置との間に設置されてウエハを一枚ずつ移載するウエハ移載装置において、複数枚のウエハを垂直状態に収納するウエハキャリアを載置するための移載ステージと、前記移載ステージ上のウエハキャリアから繰り出されたウエハを水平状態に姿勢変換して前記ウエハ処理装置に移載するとともに、前記ウエハ処理装置から排出されたウエハを垂直状態に姿勢変換して前記移載ステージ上のウエハキャリアに移載するウエハ移載ロボットとを具備したことを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/00
, B25J 15/08
