特許
J-GLOBAL ID：200903011431233913
マイクロマシニングにおける電極のスティッキング防止方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
石島 茂男 (外1名)
, 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-144180
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340477
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】電極間の張り付きを防止する技術を提供する。【解決手段】加速度センサ1の固定電極22、32と可動電極21、31とが相対向する表面のうち、少なくともいずれか一方の表面に、凹部の幅が0.01μm以上0.1μm以下の凹凸を多数形成させる。固定電極22、32と可動電極21、31の間の接触面積が小さくなり、また、シリコン表面の疎水性が強くなるので、プロセス中及び使用中両方のスティッキングが生じにくくなる。
請求項（抜粋）：
固定電極と、前記固定電極に対して相対的に移動可能な可動電極とを有し、前記固定電極と前記可動電極とが相対向して近接配置された加速度センサであって、前記可動電極と前記固定電極の相対向する表面のうち、少なくとも一方の表面には粗面処理が施された加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/84 Z
, G01P 15/125
