特許
J-GLOBAL ID：200903011434863080
ガラス基板の外周加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291278
公開番号（公開出願番号）：特開平10-118907
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板の四周の縁部を面取りしてエッジを除く加工と、4つのコーナ部に丸みを付ける加工と、つのコーナ部にオリフラを形成する加工とを、簡単な構成からなる単一の装置で一連の動作により行えるようにする。【構成】 ガイドレール12に沿って移動する搬送基台11に回転駆動手段14を介してガラス基板1を真空吸着する保持テーブル13を装着し、搬送基台11の移動により、ガラス基板1の搬入及び搬出するロード・アンロード位置と、ガラス基板1の長辺1L及び短辺1Sの面取り加工を行うために、ガラス基板1の搬送方向と直交する方向に位置調整可能な側面研磨手段20を設けた位置と、コーナ部1Cの研磨加工と1つのコーナ部にオリフラを形成するために、コーナ研磨手段30が設けられた位置を備え、側面研磨はガラス基板1を直線方向に動かし、またコーナ部の研磨は保持テーブル13を回転させながら行う。
請求項（抜粋）：
ガラス基板を保持する保持テーブルが回転可能に設けられ、所定方向に往復移動する搬送手段と、この搬送手段による搬送経路の途中位置の左右に、この搬送経路と直交する方向に移動可能に配置され、ガラス基板の上下の両エッジ部分を面取りする側面研磨手段と、搬送経路の先端部に配置され、ガラス基板の4つのコーナ部を研磨するコーナ研磨手段とを備える構成としたことを特徴とするガラス基板の外周加工装置。
FI (2件)：
B24B 9/10 D
, B24B 9/10 E
