複数ヘッド顕微鏡装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-314852
公開番号（公開出願番号）：特開平8-171057
出願日： 1994年12月19日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：

【要約】【目的】一つのガラス板上に同一パターンが複数個規則正しいピッチで形成された大型ガラス基板等の標本を適確に観察および測定することができるのは勿論、標本サイズの大小に拘らず小型に形成でき、しかもタクトタイムが短くてすむ複数ヘッド顕微鏡装置を提供する事。【構成】一平面内にて直交する一軸方向Xおよび他軸方向Yへ移動可能な標本載置用のステージ3、6と、このステージ3、6をブリッジ状にまたぐように設けられた支持部材10と、この支持部材10に設けられたガイドレール11に沿って前記一軸方向Xまたは他軸方向Yのいずれか一方向へ移動し、相互間隔を調整可能な如く設けられた複数の顕微鏡ヘッド12a、12bと、これらの顕微鏡ヘッド12a、12b相互間の間隔調整制御、前記ステージ3、6の移動制御等を行なう制御手段とを具備。

請求項（抜粋）：

一平面内にて一軸方向または他軸方向の少なくとも一方向へ移動可能な標本載置用のステージと、このステージをブリッジ状にまたぐように設けられた支持部材と、この支持部材に、相互間隔を調整可能な如く設けられた複数の顕微鏡ヘッドと、を具備したことを特徴とする複数ヘッド顕微鏡装置。

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭62-035212
特開昭49-069350

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