特許

J-GLOBAL ID：200903011450089149

板状物の搬送機構および搬送機構を備えたダイシング装置

発明者： 立岩 聡
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280266
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086543
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】 支持フレームに装着された保護テープに貼着された半導体ウエーハ等の板状物を損傷することなく搬送することができる搬送機構を提供する。【解決手段】 環状に形成された支持フレームの内側開口部を覆うように装着された保護テープの上面に貼着された板状物を搬送するための搬送機構であって、支持フレームの上面を吸引保持するフレーム保持手段と、板状物の上面を吸引保持する板状物保持手段とを有する吸引保持機構と、該吸引保持機構を第1の所定位置と第2の所定位置との間を移動せしめる移動機構とを具備している。

請求項（抜粋）：

環状に形成された支持フレームの内側開口部を覆うように装着された保護テープの上面に貼着された板状物を搬送するための搬送機構であって、該支持フレームの上面を吸引保持するフレーム保持手段と、該板状物の上面を吸引保持する板状物保持手段とを有する吸引保持機構と、該吸引保持機構を第1の所定位置と第2の所定位置との間を移動せしめる移動機構と、を具備している、ことを特徴とする板状物の搬送機構。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/07 G ,  H01L 21/68 B ,  H01L 21/78 N

Fターム (11件)：

5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08 ,  5F031GA49 ,  5F031MA23 ,  5F031MA34 ,  5F031PA20