特許

J-GLOBAL ID：200903011454746497

プラズマエッチング用電極板

発明者： 石川 淳一 ,  岩田 健二 ,  阿部 貴春 ,  伊藤 正義
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327909
公開番号（公開出願番号）：特開2001-146472
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 耐消耗性に優れ発塵の少ないプラズマエッチング電極板を提供する。【解決手段】一般式(1)【化1】(式中、R1、R2は水素原子もしくは特定の基、R3は-C≡C-を含む特定の基を表す。)で表される繰り返し単位を有する含ケイ素樹脂または含ケイ素樹脂組成物の硬化物を炭化焼成して得られるガラス状カーボンまたはガラス状カーボンに含ケイ素樹脂を含浸焼成して得られるガラス状カーボン材料を含有してなることを特徴とするプラズマ装置用電極板。

請求項（抜粋）：

繰り返し単位中、少なくとも一般式(1)【化1】(式中、R1、R2は、互いに独立に、水素原子、炭素数1から30の置換基を有してもよいアルキル基、炭素数1から30の置換基を有してもよいアルケニル基、炭素数1から30の置換基を有してもよいアルキニル基、または置換基を有してもよい芳香族基であり、R3は、-C≡C-、少なくとも1つの-C≡C-と連結した置換基を有してもよい-CH2-、少なくとも1つの-C≡C-と連結した炭素数2から30の置換基を有してもよいアルキレン基、少なくとも1つの-C≡C-と連結した炭素数2から30の置換基を有してもよいアルケニレン基、少なくとも1つの-C≡C-と連結した炭素数2から30の置換基を有してもよいアルキニレン基、少なくとも1つの-C≡C-と連結した置換基を有してもよい二価の芳香族基)で表される単位を有する含ケイ素樹脂の成型硬化物を炭化焼成して得られるガラス状カーボンを含有してなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。

IPC (5件)：

C04B 35/52 ,  C08G 77/60 ,  C08L 49/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

C08G 77/60 ,  C08L 49/00 ,  H05H 1/46 M ,  C04B 35/52 A ,  H01L 21/302 C

Fターム (22件)：

4G032AA07 ,  4G032AA15 ,  4G032BA05 ,  4J002CC00W ,  4J002CD00W ,  4J002CH12W ,  4J002CK02W ,  4J002CM04W ,  4J002CM05W ,  4J002CP01X ,  4J002GQ00 ,  4J035JA02 ,  4J035LA03 ,  4J035LB20 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA16 ,  5F004DA23 ,  5F004DB01