特許
J-GLOBAL ID：200903011455883595
走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012845
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205688
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】本発明は、試料がチャージアップされても、このチャージアップを除去して同一領域を安定して測定する。【構成】電子ビームのビーム電流をビーム検出器(16)により検出すると共に試料(7) から放出される二次電子による電流を二次電子検出器(8) により検出する。これらビーム電流と二次電子による電流とに基づいて加速電圧算出手段(18)により試料(7) における正負電荷の蓄積状態が判断され、この蓄積状態に応じて試料(7) における極性を中性にする電子銃(2) の加速電圧が求められる。そして、この求められた加速電圧が電子銃(2) に印加される。これにより、試料(7) の蓄積電荷は中性化される。
請求項（抜粋）：
電子銃から出力された電子ビームを試料に照射し、この試料から放出される二次電子を捕えて前記試料に対する表面測定を行う走査型電子顕微鏡において、前記電子ビームのビーム電流を検出するビーム検出器と、前記二次電子による電流を検出する二次電子検出器と、前記ビーム検出器により検出されたビーム電流と前記二次電子検出器により検出された電流とに基づいて前記試料における正負電荷の蓄積状態を判断し、この蓄積状態に応じて前記試料における極性を中性にする前記電子銃の加速電圧を求める加速電圧算出手段と、この加速電圧算出手段により求められた加速電圧を前記電子銃に印加する電圧制御手段とを具備したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
引用特許：
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