特許

J-GLOBAL ID：200903011456517878

電源、スパッタ用電源及びスパッタ装置

発明者： 今川 和彦
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (2件)： 日向寺 雅彦 ,  松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-216254
公開番号（公開出願番号）：特開2004-064817
出願日： 2002年07月25日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】簡素な構成でリップル成分を抑制し、安定した高電圧を高効率に供給可能な電源、スパッタ電源及びスパッタ装置を提供することを目的とする。【解決手段】直列または並列に接続された複数のモジュール(#1〜#3)を備えた電源であって、前記複数のモジュールのそれぞれは、直列または並列に接続された複数のインバータ(INV1、INV2)を有し、これら複数のインバータのスイッチングは、同一の周期で異なる位相で行われる電源とすることにより、モジュール内のインバータの動作タイミングをずらすことによりリップルを低減でき、さらにモジュール間の動作タイミングをずらしてもよい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

直列または並列に接続された複数のモジュールを備えた電源であって、 前記複数のモジュールのそれぞれは、直列または並列に接続された複数のインバータを有し、これら複数のインバータのスイッチングは、同一の周期で異なる位相で行われることを特徴とする電源。

IPC (2件)：

H02M3/28 ,  C23C14/34

FI (3件)：

H02M3/28 E ,  H02M3/28 H ,  C23C14/34 T

Fターム (11件)：

4K029DC34 ,  5H730AA14 ,  5H730AS12 ,  5H730BB27 ,  5H730BB85 ,  5H730CC01 ,  5H730DD04 ,  5H730EE62 ,  5H730FG05 ,  5H730FG10 ,  5H730FG15