特許

J-GLOBAL ID：200903011459147273

枚葉塗工体の製造方法およびその製造装置

発明者： 関戸 俊英 ,  佐野 高男
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140923
公開番号（公開出願番号）：特開平8-332436
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【構成】 枚葉方式で供給される被塗工材上に塗液を塗布し、該被塗工材上に塗膜を形成する枚葉塗工体の製造方法において、第1の工程として該被塗工材上に直線塗布方式で塗液を付着させる工程と、第2の工程として前記塗液が乾燥する前に引き続き被塗工材を塗液付着面に垂直な軸を中心に回転させる工程とを設ける。【効果】 本発明によると従来のスピンコート法に比較して塗工に使用する塗液の使用量を最小限に留めることが可能である。また、タクトタイムを短縮することが可能となり経済性に優れた塗工体の製造方法が得られる。また、従来の直線塗布方式が持つ潜在的な塗膜品位の欠点を改善し塗膜全面にわたって均一な優れた品位の塗膜を得ることができるという特有の効果を奏する。

請求項（抜粋）：

枚葉基板に直線塗布方法を用いて基板上に塗膜を形成する第1工程と、塗膜を形成した枚葉基板をその塗膜が乾燥しない間に基板面と平行な面内で回転させる第2工程とを含むことを特徴とする枚葉塗工体の製造方法。

IPC (3件)：

B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 564 D