特許

J-GLOBAL ID：200903011466688980

X線露光装置

発明者： 藤田 佳児
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248834
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090133
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 高精度かつ高スループットが得られるX線露光装置を提供することを目的としている。【構成】 X線露光装置本体とこの露光装置にウェハを供給するウェハ供給部分に雰囲気を置換するロードロック室を配置し、このロードロック室において、カセットで供給されるウェハとは別に、ロードロックに取り付けられ、ウェハ上の温度変化を測定するためのダミーウェハ1と、ダミーウェハの上に接着され、ウェハの温度変化を計測する温度検出素子2と、ロードロック室内の圧力を計る圧力検出素子3とロードロック室に任意な温度のHeを供給することのできる温度調節機能の付いたHe供給部4と、ロードロック室の雰囲気を一定にかき混ぜ、室内を均一温度に保つ雰囲気撹はん部5とを備え、ダミーウェハ上の温度と本体内部の温度との差が最も少なくなるようにHe供給部の温度を調節し、ウェハの温度の変化を最小にすることにより高精度かつ高スループットが得られる。

請求項（抜粋）：

露光装置本体にウェハを供給するウェハ供給部分として、雰囲気を置換する機能を持つロードロック室を配置したX線露光装置において、このロードロック室内に、圧力検出素子と、カセットで供給されるウェハとは別に、ダミーウェハと、前記ダミーウェハの上に装着された、温度検出素子とを備え、さらにロードロック室に任意な温度のHeを供給することのできる温度調節機能を付いたHe供給部と、ロードロック室の雰囲気を撹はんする撹はん部とを備えたことを特徴とするX線露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521