オートフォーカス制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095420
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281384
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】レーザ走査顕微鏡などの顕微鏡システムに有効な、高速、高精度のオートフォーカスを実現すること。【解決手段】レーザ光源から放射されたレーザ光を対物レンズで集光して被測定物に照射し、被測定物からの反射光を検出するとき、反射光の検出光路を二方向に分割する。一方の光路を進行する反射光を第一の受光器で受光してビーム断面形状(ビームスポット径)を検出し、他方の光路を進行する反射光を第二の受光器で受光して反射光の全体強度を検出する。ビームスポット径の変化からフォーカス制御方向を決定し、ベストフォーカス近くまで粗い移動ステップで第一のフォーカス制御を行う。次に、反射光強度変化を検出して細かい移動ステップで第二のフォーカス制御を行い、ベストフォーカス位置に設定する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から発せられたレーザ光を対物レンズで集光して被測定物に照射し、該被測定物からの反射光を検出し、前記対物レンズと被測定物の間の距離を変える移動手段を用いてフォーカス制御を行うオートフォーカス制御装置において、前記被測定物からの反射光の検出光路を二方向に分割し、一方の光路を進行する反射光のビーム断面形状を第一の受光器で検出し、他方の光路を進行する反射光の反射光強度を第二の受光器で検出し、第一のフォーカス判定部で前記第一の受光器で検出された反射光のビーム断面形状から反射光のビームスポット径が小さくなるフォーカス制御方向を決定し、ベストフォーカス位置の近傍まで粗い移動ステップで前記移動手段で第一のフォーカス制御を行い、第二のフォーカス判定部で前記第二の受光器で検出された反射光の強度が増加するフォーカス制御方向を決定し、ベストフォーカス位置まで細かい移動ステップで前記移動手段で第二のフォーカス制御を行うことを特徴とするオートフォーカス制御装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 , G02B 21/18 , G02B 21/26 , G03B 13/36

FI (4件)：

G02B 7/11 J , G02B 21/18 , G02B 21/26 , G03B 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-113305
特開昭61-235809
特開昭51-095860

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