特許
J-GLOBAL ID:200903011475076343

光学素子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-157083
公開番号(公開出願番号):特開2004-145261
出願日: 2003年06月02日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】容易に作製することができる上、用いる基板の選択性が高い、基板を接合させた構成の光学素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】ベース基板2と導波基板1と薄膜層4とを備え、薄膜層4は、ベース基板2と導波基板1との間に設けられていて、Ta2O5またはNb2O5を主成分とする膜を含む単層または多層構造の光学素子である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ベース基板と導波基板と薄膜層とを備え、 前記薄膜層は、前記ベース基板と前記導波基板との間に設けられていて、Ta2O5またはNb2O5を主成分とする膜を含む単層または多層構造である、光学素子。
IPC (2件):
G02B6/122 ,  G02B6/13
FI (2件):
G02B6/12 A ,  G02B6/12 M
Fターム (4件):
2H047KA05 ,  2H047PA22 ,  2H047PA24 ,  2H047QA07
引用特許:
審査官引用 (2件)

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