圧電素子、インクジェットヘッドおよびそれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384317
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188433
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】結晶性および(001)結晶配向性の良好なPZT圧電薄膜を作製することにより、圧電素子の特性バラツキ、耐電圧、信頼性を向上させる。【解決手段】基板11上に(100)配向NaCl型結晶構造の酸化物薄膜からなる第1の配向制御層13を設け、その第1の配向制御層13上に(100)配向Pt薄膜からなる第1の電極層14を設け、その第1の電極層上にZrを含まないチタン酸鉛を主成分とした第2の配向制御層15を設け、その第2の配向制御層15上にPZT薄膜からなる圧電体層16を設け、その圧電体層上に第2の電極層17を設けた構成の圧電素子。

請求項（抜粋）：

基板上に第1の配向制御層を設け、その第1の配向制御層上に第1の電極層を設け、その第1の電極層上に第2の配向制御層を設け、その第2の配向制御層上に圧電体層を設け、その圧電体層上に第2の電極層を設けた圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/08 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (5件)：

H01L 41/08 C , H01L 41/08 D , B41J 3/04 103 A , H01L 41/18 101 Z , H01L 41/22 Z

Fターム (9件)：

2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AG42 , 2C057AG44 , 2C057AP14 , 2C057AP52 , 2C057AP53 , 2C057BA04 , 2C057BA14

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