特許

J-GLOBAL ID：200903011478990178

バンプ形成装置

発明者： 船津 和幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-264484
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109733
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 ワイヤの不良ボールの後処理を良好に行う。【構成】 ホーン1の上下動により、このホーン1の先端部に保持されたキャピラリツール2を昇降させて、このキャピラリツール2から導出されたワイヤ3の下端部に形成されたボール3aを、チップステージ5上のチップPの電極10にボンディングし、且つ上記ワイヤ3を切断することにより、上記電極10上にバンプ3aを形成するバンプ形成装置において、上記チップステージ5の側部に、不良ボール3a′を捨て打ちする捨て打ちステージ6を設けた。

請求項（抜粋）：

ホーンの上下動により、このホーンの先端部に保持されたキャピラリツールを昇降させて、このキャピラリツールから導出されたワイヤの下端部に形成されたボールを、チップステージ上のチップの電極にボンディングし、且つ上記ワイヤを切断することにより、上記電極上にバンプを形成するバンプ形成装置において、上記チップステージの側部に、不良ボールを捨て打ちする捨て打ちステージを設けたことを特徴するバンプ形成装置。