基板・マスク固定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：渡辺望稔 , 三和晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070273
公開番号（公開出願番号）：特開2005-256101
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】基板にマスク処理を施す際、基板とマスクを密接させる際のマスクによる基板表面層への損傷および基板の位置ずれを防止するとともに、非磁性体のマスクの使用も可能である基板・マスク固定装置を提供する。【解決手段】マスク処理を施す際にガラス基板26およびマスク20を固定し、保持する基板・マスク固定装置10は、ガラス基板28を保持する基板ホルダ部12とマスク20を保持するマスクホルダ部16を有する。基板ホルダ部12は、非マスク処理面28と当接してガラス基板26を保持する面であって、この面がマスク処理面に向けて凸状に湾曲した曲面形状をなした基板保持面を有する。ガラス基板26は、この基板保持面よりマスク処理面の側に湾曲させて保持される。マスクホルダ部16は、マスク処理を施すためのマスク20を、ガラス基板26のマスク処理面に密接して保持するために湾曲して保持する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板の一方の面に、所定のパターンに孔あけ加工されたマスクを用いてマスク処理を施す際に基板およびマスクを固定し、保持する基板・マスク固定装置であって、基板のマスク処理を施さない非マスク処理面と当接して基板を保持する面であって、この面がマスク処理面に向けて凸状に湾曲した曲面形状をなした基板保持面を有し、この基板保持面よりマスク処理面の側に向けて基板を湾曲させて保持する基板ホルダ部と、マスク処理を施すためのマスクを、前記湾曲した基板のマスク処理面に密接して保持するために、前記基板の湾曲に対応するように前記マスクを湾曲して保持するマスクホルダ部と、を有することを特徴とする基板・マスク固定装置。

IPC (4件)：

C23C14/50 , H01L21/205 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (4件)：

C23C14/50 F , H01L21/205 , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (16件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029AA06 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA01 , 4K029BA62 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB18 , 4K029HA02 , 4K029HA04 , 5F045AA18 , 5F045AA19 , 5F045EM01

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第2832836号公報

審査官引用 (1件)

特開昭56-065980

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