特許

J-GLOBAL ID：200903011484046422

磁気抵抗効果を有する酸化物薄膜及びその製造方法

発明者： 塚本 孝一 ,  柳澤 武 ,  沈 鴻烈
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055314
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247792
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 金属有機物の分解(MOD)法を用い、廉価な基板上に市販の金属有機物溶液の混合液を塗布し、焼成する簡易な成膜技術によって製造することができる磁気抵抗効果を有する酸化物薄膜及びその製造方法を提案する。【解決手段】 金属有機物溶液の混合液を、基板上に塗布して焼結させた磁気抵抗効果を有する多結晶の酸化物薄膜であり、前記混合液は、三価元素Aを含有する金属有機物溶液、二価元素Bを含有する金属有機物溶液、三価又は四価となる元素Cを含有する金属有機物溶液とからなり、得られる薄膜の組成が基本構造式AxB1-xCOy (Oは酸素、x,yは組成比を表し、その範囲は0.6≦x≦0.8,2≦y≦4)で示されるように各金属有機物溶液を組み合わせて混合液を調製した。

請求項（抜粋）：

金属有機物溶液の混合液を、基板上に塗布して焼結させた磁気抵抗効果を有する多結晶の酸化物薄膜であり、前記混合液は、La,Y ,Sm,Erから選ばれる三価元素Aを含有する金属有機物溶液、Ba,Ca,Sr,Pb,Zn,Sn,Mg,Cdから選ばれる二価元素Bを含有する金属有機物溶液、Mn,Fe,Co,Cr,Niから選ばれる三価又は四価となる元素Cを含有する金属有機物溶液とからなり、得られる薄膜の組成が基本構造式AxB1-xCOy (Oは酸素、x,yは組成比を表し、その範囲は0.6≦x≦0.8,2 ≦y≦4 )で示されるように各溶液を組み合わせて混合液を調製したことを特徴とする磁気抵抗効果を有する酸化物薄膜。

Fターム (5件)：

4G077AA03 ,  4G077AB05 ,  4G077BC60 ,  4G077CB08 ,  4G077JB07