特許
J-GLOBAL ID：200903011492342030
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201390
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047966
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 角速度検出精度の向上。振動電極の共振周波数調整の容易化。【解決手段】 基台1;これに、x方向およびz方向に振動可能に支持された振動体6,17,21;振動体をx振動駆動する加振手段4,5,18,19;z方向に相対向する固定電極8,14および可動電極7,13,21h;および、可動電極を支持し、振動体の振動を可動電極に伝える可動電極支持部材2,3,15,16,21i,21j;を備える。可動電極支持部材は、振動体から可動電極へのx方向の振動は遮断しz方向の振動のみを伝える。
請求項（抜粋）：
基台;該基台に、x方向およびz方向に振動可能に支持された振動体;該振動体にx方向に振動する力を及ぼすための加振手段;z方向に相対向する固定電極および可動電極;および、該可動電極を支持し、前記振動体の振動を可動電極に伝える可動電極支持手段;を備える角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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角速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-114291
出願人：株式会社村田製作所
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